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研發(fā)團(tuán)隊(duì)超過(guò)250人,每年投入營(yíng)業(yè)額5%作為研發(fā)費(fèi)用,至今為止擁有超過(guò)394個(gè)專利,其中 國(guó)際專利30項(xiàng),發(fā)明專利超
過(guò)60項(xiàng)!發(fā)明專利中,二流體真空蝕刻技術(shù),處?kù)秶?guó)際領(lǐng)先技術(shù)水平