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u研發(fā)團隊超過250,每年投入營業(yè)額5%作為研發(fā)費用,至今為止擁有超過394個專利,其中 國際專利30項,發(fā)明專利超

60項!發(fā)明專利中,二流體真空蝕刻技術,處於國際領先技術水平

部分發(fā)明專利